射频线圈的主要问题是腐蚀，无论是因热量或氧化所引起的。腐蚀会减少对等离子的能量传送效率，并增加对射频发生系统中其他部件的应力。特别是射频管或射频放大器 FET 必须产生更多功率来传送相同能量给等离子。
             
     线圈是此射频能量的发射器。不同材质传导射频能量的效率对整体等离子效率有重要影响。金属氧化物传导射频没有纯金属来得好。尤其硫酸铜，它是非常差的导体，而氧化银则对效率的影响很小。射频效率很高的金属有纯银 IACS（国际锻铜标准）105、锻铜 IAC 100，和金 IAC 74。 
       
     如果高温是最大的问题，则处理此问题的最佳方法是使用镀有高度反射材质（例如银）的线圈。但镀银也会在使用一段时间之后产生失泽样子。在这种情况下要使线圈有最佳使用寿命，应当使用去焦器经常清洗。这将最终除掉银镀层。但如果不除焦，会因较高的吸收率而积聚过多热量，导致镀层从铜导管剥落。这将裸露铜区域，使恶化速率加快。铜将更快地氧化，从而可能导致线圈间出现电弧，并降低至等离子的能量传送。
化学腐蚀问题最好使用镀金线圈解决。电镀过程是线圈性能好坏的关键。镀金可能产生多孔镀层，使铜导管受到化学腐蚀，从而导致镀层无用。加联国际提供的镀金线圈生产中所使用的电镀过程能除去多孔效果，但仍保持镀层的高纯度。用久之后，金镀层表面将显示硫酸铜形成迹象。这是由于铜通过镀层徙动而导致的。为获得最佳性能，应当使用无酸金属研磨剂除去沉积物。不幸的是，一旦发生这种现象，徙动将以更快速率发生，此时必须更换线圈。

     定期清洗线圈可延长使用寿命，产生更加均匀的等离子。这又可导致较好的分析结果。也能减少对射频发生器的负荷。